ССМ изображение Si
3
N
4
кантилевера на
тестовой решетке TGT01
. Скан размером 1.6x1.4 мкм.
Условия измерения
Дата
22-Авг-1996
Прибор
P4-SPM-MDT
(16 разрядный ЦАП, сканер 7мкм x 7мкм)
Мода
ССМ резонансная мода
Зонд
Кантилевер Si
3
N
4
с радиусом кривизны 20нм
Измерено
С.Нестеровым
, НТ-МДТ, Москва, Россия.
Не опубликованно.
Copyright © 1996, НТ-МДТ
Обратная связь
bykovav@ntmdt.zgrad.ru