NT-MDT

ССМ изображение кремниевой калибровочной решетки (TGZ02), показывающая нелинейность по нормали. "Искривление" решетки обусловлено аппаратным эффектом нелинейности керамики в направлении "Z" (нормаль к поверхности). Проявляется после "вычитания плоскости". Скан размером 17.9x3.3 мкм.

Условия измерения

Дата 22-Авг-1996

Прибор P4-SPM-MDT (18 разрядный ЦАП, сканер 20мкм x 20мкм)

Мода ССМ резонансная мода

Зонд Кантилевер Si₃N₄ с радиусом кривизны 20нм

Измерено С.Нестеровым, НТ-МДТ, Москва, Россия.

Не опубликованно.