НТ-МДТ UltraSharp Проводящие Кремниевые Кантилеверы

Тонкая двуслойная металл/диэлектрик пленка была подвергнута воздействию тока, проходящего через острие проводящего кантилевера. Этим было найдено прямое формирование нано областей, имеющих сопротивление. На рисунке изображены как atomic force (a1) так и current mode (a2).

Сканы размером 0.9x0.9 мкм.

Условия измерения

Дата 22-Мая-1997

Прибор P4-SPM-MDT (18 разрадный ЦАП, сканер размером 20 x 20 мкм)

Мода ССМ контактная мода

Зонд Проводящий кантилевер UltraSharp с радиусом кривизны 30 нм

Измерено Г.М. Михайловым, Институт Проблем Технологий Микроэлектроники, Черноголовка, Россия.