| Основные технические характеристики
- Вакуум 10-11 торр.
- Размер образца до
25.4 мм толщина до 10 мм;
- Размер скана максимальный 100 x 100 x 5 мкм;
минимальный 3 x 3 x 0.5 мкм.
- Мощная электронника High-Q дает 22 битное разрешение на полном размере скана.
- Придельное движение сверхвакуумного шагового двигателя по оси Z 30 мм.
- Вакуумный манипулятор обеспечивает перемещение образца в пределах низковакуумной камеры.
- Температурный диапазон для тепловой обработки образца:
300K - 500K; 100K - 700K.
- Обжиг.
|