SOLVER Сканирующий Зондовый Микроскоп

Сканирующий зондовый микроскоп Solver P47-SPM-MDT
для комплексных исследований образцов методами
мультимодовой сканирующей зондовой микроскопии

Технические параметры
Электроника прибора
Результаты полученные на P47-SPM-MDT

Модель Solver P47-SPM-MDT является продуктом развития прибора Solver P4-SPM-MDT. Общая идея микроскопа, заключающаяся в блочности конструкции, каторая сохранена. Прибор имеет мощный электронный блок, смонтированный в основании прибора, может работать с различными типами сканеров и головок. В отличии от прибора Solver P4-SPM-MDT, где сканирование осуществлялось только образцом, в конструкции нового прибора заложена возможность реализации конфигурации ╚сканирование кантилевером╩. При этом возможно исследовать образцы значительно больших размеров без искажения резонансных характеристик сканера.

Solver P47-SPM-MDT использует базовую электронику, обеспечивающую возможность работы в мультимодовом режиме. Электроника допускает использование одного или нескольких цифровых сигнальных процессоров типа ADSP-2181, применение которых позволяет лучше работать прибору в многозадачной среде WINDOWS-95,98, а также обеспечивает

Внешний вид прибора Solver P47-SPM-MDT
Внешний вид прибора Solver P47-SPM-MDT

возможность работы в сетевом режиме, разгружая машину от выполнения рутинных операций. При этом одной из основных задач процессора является выполнение сложных режимов сканирования и позволяет осуществить коррекцию не идеальности керамики с точностью лучшей десятой доли процента. При использовании одного сигнального процессора функции обратной связи лучше оставлять электронике.

Общий вид Solver P47-SPM-MDT
a
Головка с держателем образца
б
Внешний вид прибора Solver P47-SPM-MDT c системой
сканирования кантилевером (Solver P47H-SPM-MDT).
(а) - общий вид, (б) - головка с держателем образца

Для регистрации отклонения кантилевера мы применили оптико-позиционную схему. При сканировании кантилевером появляется необходимость в специальной системе слежения за позиционированием лазера на кантилевер в процессе сканирования. Система регистрации должна быть выполнена так, что если при сканировании изгиба кантилевера не происходит, луч отраженного от сканирующего кантилевера лазерного света должен оставаться в перекрестье регистрирующего фотодиода. Решение этой задачи получено закреплением специальной системы зеркал на сканере. При этом используется неподвижные во время измерения лазер и фотодиод. Юстировка регистрирующей системы обеспечивается четырьмя микрометрическими подвижками.

Система грубого подвода выполнена с использованием шагового двигателя с 200 шагами на 360°. Каждый шаг разбивается на 64 подшага, что обеспечивает минимальный единичный сдвиг около 25нм, что много меньше величины диапазона по Z (не менее 1.5мкм). Конструкция системы сближения выполнена так, что обеспечивается возврат на место предыдущего сканирования с точностью до 0.1 мкм при выполнении многих циклов сближения - отвода, в том числе и с жидкостной ячейкой. Это обеспечивает возможность проведения длительных (многодневных) экспериментов. Последнее позволяет изучать процессы коррозии, старения, жизнедеятельности клеток и т.д.. Ниже приведено АСМ изображение дифракционной решетки после первого (а) и 10 циклов (б) операций сближения образец - кантилевер, а на (в) приведена разность этих изображений. Образец отводился за каждый цикл на фиксированное расстояние 1 мм. Из сравнения видно, что относительное смещение изображений находится в пределе 0.1 мкм, что подтверждает высокое качество механизма подвода, гарантирующее возможность длительных наблюдений объекта.

Image
a

Image
б

Image
в

Image
г

АСМ изображение дифракционной решетки с характерной особенностью
после первого (а) и десятого цикла операций сближения образец - кантилевер.
в) - разность этих изображений. (г) - условия измерений. Резонансная мода
f = 505.9 кГц, кремниевый кантилевер
Управление прибором осуществляется программно через электронный блок при помощи рабочей станции на базе IBM - совместимого компьютера со специальным программным обеспечением. В настоящее время используется компьютер с процессором Pentium 200, 2Gbyte HD, 32Mbyte RAM.

Для управления прибором используется специально разработанный, универсальный электронный блок High-Q с большими возможностями для осуществления различных мод работы прибора.

Электроника и программное обеспечение прибора позволяют работать в следующих модах:

  • контактной моде, при которой в процессе сканирования осуществляется в режиме сил отталкивания, когда кантилевер поджимается к образцу с заданной силой в диапазоне 10-9 - 10-6Н;
  • моде латеральных сил, при которой регистрируется угол закрутки кантилевера в процессе сканирования;
  • полуконтактной или ╚теппинг╩ моде, при которой сканирование производится колеблющимся кантилевером на частоте его резонансных или вынужденных колебаний, предварительно устанавливаемой в полосе резонансного возбуждения кантилевера. При этом обратной связью может поддерживаться постоянной изменение амплитуды или фазы колебания, а регистрироваться профиль, фаза, сигнал ошибки, сигнал на кратных гармониках;
  • бесконтактной моде, при которой осуществляется сканирование в режиме притяжения между кантилевером и подложкой;
  • ╚лифт╩ моде, когда в процессе сканирования кантилевер проходит над поверхностью по наперед заданному профилю, при этом можно контрастировать специфические характеристики поверхности, такие как распределение электрических сил, сил взаимодействия адсорбционных слоев;
  • моде регистрации изменения магнитных сил. При этом используется кантилевер со специальным, магниточувствительным покрытием;
  • моде регистрации электрического тока в системе проводящий зонд кантилевера - образец при постоянной силе поджима, что может измеряться синхронно с измерением профиля поверхности;
  • ╚Кельвин╩ - моде, при которой измеряется электрическое напряжение между колеблющимся кантилевером и поверхностью образца, необходимое для поддержания переменного электрического тока на частоте колебаний кантилевера равным нулю. Это известный способ измерения изменения работы выхода - метод вибрирующей емкости или метод Кельвина;
  • адгезионной моде, при которой регистрируется сила отрыва кантилевера от поверхности в процессе сканирования;
  • возможность одновременно снятия атомно-силового и туннельного изображений.

Эти моды работы в СЗМ Solver P47-SPM-MDT могут быть реализованы с применением двух головок:

Головка для сканирования образцом
Головка для сканирования образцом
Головка для сканирования кантилевером
Головка для сканирования кантилевером

В модах сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии:

СТМ головка с диапазоном тока 10pA - 10nA
а
СТМ головка с диапазоном тока 1pA - 1nA
б

СТМ головки с прибора Solver P47-SPM-MDT. (a) - диапазон тока 10pA - 10nA,
(б) - диапазон тока 1pA - 1nA

Для резонансной моды латеральных сил (Sear Force) с возможностью регистрации дополнительного сигнала (например оптического (SNOM) или токового):

Sear Force головка прибора Solver P47-SPM-MDT

Sear Force головка прибора Solver P47-SPM-MDT

Прибор имеет герметичную газово-жидкостную ячейку и электрохимическую ячейку для работы в том числе и в режиме атомно-силового микроскопа.

Герметичная, газово-жидкостная ячейка прибора Solver P47-SPM-MDT

Герметичная, газово-жидкостная ячейка прибора Solver P47-SPM-MDT

Прибор позволяет работать с герметичной газовой и жидкостной ячейках с возможностью изменения состава среды в процессе эксперимента, имеется возможность работы в электрохимической ячейке в атомно-силовом и туннельном режимах.

Прибор может быть снабжен видеокамерой, облегчающей возможность позиционирования. Разрешение зависит от типа видеокамеры и может быть в пределах 1 - 2 микрон.


Copyright © 1998, НТ-МДТ
Обратная связь bykovav@ntmdt.zgrad.ru